Płytki krzemowe
Zakład Produkcji Doświadczalnej oferuje monokryształy i płytki krzemowe (różnych rodzajów) o średnicach od 1” do 4” - standardowe i ponadstandardowe, o grubościach od 50 µm do 40000 µm oraz powyżej. Płytki krzemowe są bezpośrednio po cięciu, trawione oraz polerowane jedno- lub obustronnie, w zależności od potrzeb.
Oferta
- wytwarzamy płytki krzemowe o standardowych orientacjach (<100>,<111>) z dezorientacją do 15°;
- polerowane płytki krzemowe o średnicach do 4” i grubościach >2000 µm charakteryzują się tolerancją grubości TTV i falistości <5 µm oraz z gładkością powierzchni <5 Å;
- otrzymuje się supercienkie płytki krzemowe (grubość 50 µm) o średnicy 2˝, dwustronnie polerowane, o rozrzucie grubości ±0,5 µm i zbliżonym do sferycznego kształcie jego rozkładu, z dokładnością orientacji płytki <0,05° i ścięcia bazowego <20’, z gładkością powierzchni <5Å (prace w ramach europejskiego grantu Imaging with Neutral Atoms).
Płytki są wycinane z monokryształów krzemu za pomocą pił diamentowych o wewnętrznej krawędzi tnącej. Następnie podlegają czyszczeniu w myjce ultradźwiękowej lub czyszczeniu chemicznemu. Ich krawędzie są zaokrąglane mechanicznie. Powierzchnia płytek jest trawiona w mieszaninie kwasów lub zasad, w zależności od potrzeb. Płytki są polerowane chemo-mechanicznie (jedno- lub dwustronnie). Przedstawione dane dotyczą standardowej produkcji. Pracownicy są gotowi do uzgadniania zamówień z indywidualnie dobranymi parametrami płytek.
Kontakt: komercjalizacja@itme.edu.pl
Płytki krzemowe i monokryształy
W Zakładzie opracowano procesy technologiczne wytwarzania krzemu, w których:
• osiągnięto kontrolowaną zawartość tlenu w monokryształach krzemu na poziomie 5,5 ÷ 8,7*1017 atomów na cm3 oraz wdrożono oprogramowanie do automatycznej kontroli procesów wzrostu kryształów);
• sterując warunkami topienia i przepływu argonu znacząco ograniczono wpływ migracji węgla w krzemie podczas wzrostu kryształów (standardowa zawartość węgla w wytwarzanych monokryształach krzemu jest niższa niż 2,5*1016 atomów na cm3);
• uzyskuje się monokryształy 1˝ , 2˝ i 3” oraz 4”o nietypowych orientacjach (<110>, <112>, <113>, <133>, <210>, <310>, <510>, <511>, <711>, <221>, <321>);
Opracowano też:
• system kontroli termicznej w procesach wzrostu monokryształów krzemu zapewniający stabilność termiczną kryształów (typowy czas nukleacji wytrąceń wynosi powyżej 100 godzin);
• metody pozwalające na uzyskiwanie monokryształów krzemu o standardowych własnościach za pomocą konwencjonalnych technik domieszkowania.
